ALIO Industries bietet Ihnen eine breite Palette an hochgenauen, luftlagergeführten Positioniersystemen für eine Vielzahl von Anwendungen in der Fertigungs-, Mess- und Prüftechnik.
200 - 1000 mm
>1m/sec/>1 G
20kg (Optional bis zu 80kg)
Bis zu +/- 100nm
<0.5µm
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20kg (Optional bis zu 80kg)
Bis zu +/- 100nm
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Führende 6-D Nano Positioning® Luftlagersysteme für Ihre Anwendung in der Fertigungs-, Mess- und Prüftechnik.
ALIO Industries hat auf Luftlagern basierende, patentierte Lösungen für die horizontale und vertikale Positionierung entwickelt. Sie sind für die Präzisionsanforderungen in der Halbleiterindustrie, Präzisionsdruck und auch optischen Inspektionsanwendungen bestens geeignet. Kontaktieren Sie uns, um mehr über unsere Luftlagertische zu erfahren.
Das patentierte 2-Achsen-Planar-XY-Luftlagersystem von ALIO hat in der Welt der Nanopositionierung neue Maßstäbe gesetzt. Beide Achsen verwenden dieselbe hochpräzise Granitbasis als Referenz und erreichen daher eine ausgezeichnete Ebenheit von nur einem Mikrometer über mehrere hundert Millimeter Verfahrweg.
Dank des patentierten Designs von ALIO und der konsequenten Anwendung neuester Messtechnologien und -standards garantieren diese planaren XY-Luftlagertische Positioniergenauigkeiten im Submikrometerbereich und bi-direktionale Wiederholgenauigkeiten von nur +/- 100nm. Mit Standardversionen von 200 mm bis 800 mm sowie möglichen kundenspezifischen Anpassungen auf bis zu 3 Meter ist diese Produktfamilie die Lösung für eine Vielzahl von Mess- und Metrologieanwendungen in der Halbleiterindustrie.
Dank leistungsstarker linearer Direktantriebe und der berührungslosen Luftlagerführung eignen sich diese Positioniersysteme perfekt für hochpräzise Anwendungen mit hohem Durchsatz. Sowohl eine reibungsfreie, kontinuierliche Abtastung als auch schnelle Step-and-Settle-Prozesse über sehr lange Strecken werden ermöglicht.
Für weitere Informationen über die planaren XY-Luftlagertische und die zahlreichen verfügbaren Anpassungsoptionen wenden Sie sich bitte an ALIO oder werfen Sie einen kurzen Blick auf das folgende Datenblatt:
Für viele hochpräzise Anwendungen, wie z. B. in der Photonik, bei der Herstellung von Halbleitern oder auch in der Messtechnik, sind luftgelagerte Lineartische eine perfekte Lösung.
Da die Bewegung berührungslos ist, werden keine Partikel generiert. Solch "schwebende", planaren Führungen sind zudem meist präziser als mechanische Führungsarten.
Die linearen, einachsigen Luftlagertische von ALIO zeichnen sich durch ihre hohe Laufruhe, Positioniergenauigkeit und extrem gerade und ebene Bewegung aus. Die Positioniersysteme basieren auf Luftlager und werden durch Linearmotoren angetrieben. Diese Luftlagertische werden dort eingesetzt, wo höchste Präzision erforderlich ist.
Folgend finden Sie einige unserer Standardmodelle:
Einachsige, Lineare Luftlagertische: AI-LM-(TRAVEL)00-AB
Einachsige, Lineare Luftlagertische: AI-LM-(TRAVEL)00-AB8
Einachsige, lineare "Box Rail" Luftlagertische: AI-LM-(TRAVEL)00-AB-BR
Vertikale Positionierer mit Linearantrieb zeichnen sich durch geringe Bauhöhen und sehr lange Verfahrwege aus. Diese Tische verwenden hochpräzise Kreuzrollenführungen und lineare Encoder in Kombination mit einem reibungsfreien, luftgelagerten Pneumatikzylinder. Ähnlich der GeoSymmetric™-Reihe sind bei diesen vertikalen Positionierern mit langem Verfahrweg Gegengewicht, Motor, Führungen und Encoder ungefähr parallel zur Mittelachse des Tisches platziert. Nutzlasten werden direkt an der Stirnseite des Tisch montiert.
Die Z-ABCB-Serie kann dabei Nutzlasten von bis zu 25 kg über 200 mm oder mehr tragen.
Details:
Vertikale Positionierer für hohe Lasten und Verfahrwege: AI-LM-(TRAVEL)00-Z-ABCB-(OPTION)
Die patentierten NANO Z® Luftlagerhubtische nutzen eine neuartige Kombination aus Luftlagerführungen und zwei separaten Voice Coil Motoren. Trotz kompakten Gehäuses können Hübe von bis zu 24 mm erreicht werden.
Luftlager sowie Voice Coil Motoren ermöglichen eine reibungsfreie Bewegung und unvergleichlich präzise und wiederholbare Positionierungen im niedrigen zweistelligen Nanometerbereich. Dank variabel einstellbarer Balanciermechanismen sind auch schwere Lasten, wie Wafer Chucks oder Objekte mit einer ungleichmäßigen Gewichtsverteilung, über den gesamten Verfahrweg nanometergenau positionierbar.
Mit dem Nano Z® ist es möglich die vertikale Kraft in eine Linie mit der Nutzlast zu bringen. Damit kann die Belastung durch Hebelwirkungen schwerer Lasten sowie auch Kippen, Neigen und Gieren der Achse nahezu eliminiert werden.
Abmessungen und Spezifikationen finden Sie im folgenden Datenblatt:
ALIO Industries bieten eine Reihe von luftgelagerten Drehtischen für Kunden, welche die größtmögliche Rotationspräzision benötigen. Diese Tische drehen sich ohne mechanischen Kontakt, was zu einer reibungslosten und verschleißfreien Bewegung führt. Die luftgelagerten Drehtische von ALIO können Fehler wie Taumbeln, Exzentrizität oder Rundlaufungenauigkeiten minimieren, um eine nahezu perfekte, gleichmäßige 360°-Bewegung selbst bei hohen Geschwindigkeiten oder bei vertikaler Montage zu gewährleisten. Ausgestattet mit leistungsstarken Torque-Motoren können diese Tische sowohl konstante und kontinuierliche Rotationen als auch Step-and-Settle-Prozesse mit gleicher Präzision und Zuverlässigkeit durchführen.
Häufig finden sich die luftgelagerten Drehtische von ALIO in hochpräzisen Anwendungen in der Halbleiter-, Mess- und Photonikindustrie wieder. Für detaillierte Spezifikationen laden Sie bitte die folgenden Datenblätter herunter:
Für detaillierte Spezifikationen laden Sie bitte die folgenden Datenblätter herunter:
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翻译由我们中国区合作伙伴Aunion Tech Co., Ltd（上海昊量光电设备有限公司）家提供！
