200 - 1000 毫米
>1m/sec/>1 G
20 千克（可选 80 千克）
低至 +/- 100 纳米
<0.5µm
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20 千克（可选 80 千克）
低至 +/- 100 纳米
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ALIO Industries:领先的 6-D Nano Positioning® 空气轴承系统，适用于制造、检测/维修和计量应用。
ALIO Industries 已开发出 Planar 和 Nano Z® 空气轴承运动系统的专利设计，完全满足光伏、半导体、喷墨沉积、光刻和光学检测应用中 TRUE NANO® 的精度要求。联系我们，详细了解我们先进的空气轴承系统。
ALIO 获得专利的双轴平面 XY 空气轴承系统在6-D Nano Positioning 领域树立了标杆。由于两轴均使用相同的高精度花岗岩基座作为基准，因此可在数百毫米（甚至数米）的行程范围内实现仅一微米的先进平面度。
得益于 ALIO 的专利设计和专有的 6-D 纳米精度测试方法，这个高刚度的平面 xy 空气轴承运动系统系列可提供亚微米精度和 +/- 100nm 的双向重复性，即使在批量机器生产中也是如此。该产品系列的标准型号为 200 毫米至 800 毫米，可定制的 X 和 Y 行程超过 3 米，在任何类型的测量/计量应用和半导体行业中，其True Nano®精度无出其右者。
强大的线性直接驱动装置和空气轴承使这些运动系统完全适用于高精度、高吞吐量的应用，这些应用需要在非常长的距离上进行平滑的连续扫描或快速的步进和平稳过程。
如需了解平面 xy 空气轴承平台的更多信息，以及众多定制选项，请联系 ALIO 或查看以下数据表：
对于光子学、半导体或平板显示器制造中的精密扫描或计量等许多高精度应用而言，直线气浮平台（浮在空气薄膜上）是一种完美的解决方案。
由于运动无摩擦，因此不会形成微粒，而微粒漂浮的平面导轨比机械轴承精确得多。
ALIO 的线性 X 空气轴承平台的特点是非常平稳和精确，并能提供极其平直的运动。我们的运动保真度极高的运动系统基于直线电机驱动的平面空气轴承设计。我们的空气轴承平台适用于需要超高精度的场合，如晶圆检测、划线和平板检测等应用。
查看我们的一些标准 X 系列空气轴承平台：
线性 X 空气轴承平台：AI-LM-(TRAVEL)00-AB
线性 X 空气轴承平台：AI-LM-(TRAVEL)00-AB8
盒式导轨直线 X 空气轴承平台：AI-LM-(TRAVEL)00-AB-BR
ALIO 的直线电机驱动垂直 Z 型升降平台系列配有空气轴承平衡装置，具有外形小巧、行程极长的特点。这些平台使用高精度交叉滚子轴承和线性编码器，配备无摩擦空气轴承气动缸。与 GeoSymmetric 系列平台类似，这些长行程 Z 轴位移台的平衡装置、电机、轴承和编码器都安装在平台的近似中心线上。有效载荷可直接安装在平台表面。
Z-ABCB 系列采用无摩擦空气轴承气缸平衡装置，可在 200 毫米或更大的范围内承载重达 25 公斤的有效载荷。
详细信息：
NANO Z® 获得专利的 Z-lift 空气轴承平台克服了与 Z-wedge 和其他垂直平台相关的传统设计问题。它们采用气浮轴承和两个音圈电机的新颖组合，占地面积小，行程可达 50 毫米。
使用空气轴承意味着可忽略不计的摩擦，从而实现无与伦比的精度和重复性，最低可达两位数纳米。可变平衡可轻松处理晶片卡盘等重物，同时在整个行程范围内仍可实现纳米级精度。
Nano Z® 的设计使垂直力与有效载荷保持一致，这样就可以将平台放在有效载荷的正下方而不是旁边，避免了不可避免的悬臂误差，几乎消除了pitch,yaw 和roll 。
尺寸和规格见以下数据表：
当需要最高旋转精度时，制造商可以选择 ALIO 的空气轴承旋转平台系列。空气轴承允许平台在无机械接触的情况下运动，因此运动无摩擦、无磨损。即使在高速运转或旋转平台垂直安装的情况下，也能最大限度地减少摆动、偏心或跳动等误差，实现接近完美、平滑的 360 度运动。得益于强大的扭矩电机，无论是匀速连续旋转还是步进和静止过程，都能以同样精确和可靠的方式进行。
因此，ALIO 的旋转空气轴承平台在半导体、计量和光电子行业的最精密应用中得到广泛应用也就不足为奇了。
有关详细规格，请下载以下规格表：
使用我们直观的产品配置器，为您的应用找到合适的平台。
翻译由我们中国区合作伙伴Aunion Tech Co., Ltd（上海昊量光电设备有限公司）家提供！
