术语表

True Nano Positioning® 和 True Nano®

真正的纳米级定位性能，基于充分记录的NIST可追溯性性能证明，符合注册标准。在True Nano®领域，分辨率毫无意义。

6-D Nano Precision®

6-D 是指运动的 6 个维度：线性、直线度、平面度、俯仰、偏转 和滚摆 。纳米精度是指在 +/- 450 nm或更低水平上的性能证明文件。6-DNano Precision® 是指在纳米精度水平上，运动物体的所有 6 个自由度的性能证明文件。

Point Precision® 或 6-D Point Precision®

Point Precision® 和 6-DPoint Precision® 都将所有 6 个自由度（线性、直线度、平面度、俯仰、偏转 和滚摆）的双向重复性定义为单个运动平台在空间中的单点精度，对于ALIO ，我们通过单片XY 平台将这种单个平台方法推向更高水平，我们的单片XY 平台在两个轴上的 6-D 点精度都达到了纳米级。如果没有 6D 点精度，所声称的精度和可重复性充其量只是毫无意义的，最坏的情况也不过是故意误导。

Nano Metrology®

Nano Metrology® 随着计量传感器的发展和新型设计的出现，需要更好的平台来移动样品或传感器，ALIO 公司应运而生。ALIO 引入了纳米级直线度精度的新理念，以降低测量的不确定性，并有能力测量纳米级的不确定性，包括运动和传感器的综合误差商。

Nano Z®

Nano^Z® 商标源于 ALIO 在半导体行业开发的用于晶圆制造和计量的平面 XY 空气轴承和空气轴承 Z 平台。Z 升降机平台的设计非常新颖，因此 ALIO 将其名称注册为商标，并加强了公司在 Z 方向、垂直方向或以纳米级精度升降部件的能力。

Hybrid Hexapod®

Hybrid指的是将两种平台结合在一起的一种新方法，有时甚至是新颖的方法，这种方法可以提高每种设计的整体性能。六脚架作为一种六轴平行运动学结构已闻名多年。ALIO 的混合方法由一个整体 XY 底座、三脚架和 360 度旋转平台（如需要）组成，根据运动和误差商数的基本物理原理，其精度比当今（或未来）制造的所有其他六脚架都要高出 2 个数量级。