ALIO Industries' Z-Lift 垂直运动系统的设计目的是解决 Z-wedge 垂直平台固有的误差问题,提高线性平台在垂直方向上的性能,同时减少其占地面积。运动平台的组件数量会导致其总误差。Z 型楔块平台有三个角度复杂的加工部件、三组轴承、一个通过联轴器连接的电机和一个编码器,因此平台的误差非常大。ALIO 的 Z 形升降平台系列具有高精度和可重复性。
NANO Z® 获得专利的 Z-lift 空气轴承平台克服了与 Z-wedge 和其他垂直平台相关的传统设计问题。它们采用气浮轴承和两个音圈电机的新颖组合,占地面积小,行程可达 50 毫米。
使用空气轴承意味着可忽略不计的摩擦,从而实现无与伦比的精度和重复性,最低可达两位数纳米。可变平衡可轻松处理晶片卡盘等重物,同时在整个行程范围内仍可实现纳米级精度。
Nano Z® 的设计使垂直力与有效载荷保持一致,这样就可以将平台放在有效载荷的正下方而不是旁边,避免了不可避免的悬臂误差,几乎消除了pitch,yaw 和roll 。
尺寸和规格见以下数据表:
ALIO 的 GeoSymmetric™ 垂直定位平台采用音圈或直线直接驱动、高精度交叉滚子轴承和各种平衡选项,设计理念独特新颖。
独特的几何形状可在平台的多个表面提供安装面,从而提供灵活的安装选项。将有效载荷直接安装在平台的表面或顶面,有助于消除与附加支架相关的弱点和共振频率问题。
该系列名称中的 "对称 "部分源于所用组件的排列方式。平衡器、电机、轴承和编码器都放置在平台的近似中心线上,也就是说,它们是以质量在平台上对称分布的方式集成在一起的。
该系列平台采用与应用相关的精密平衡装置,其结构设计超越了应用性能要求(双向重复精度可达 +/-45nm,行程范围为 6 至 70mm,承重能力高达 30kg)。与 Z 形楔形平台相比,ALIO 的 GeoSymmetric™ 垂直定位平台的精度提高了 4 到 10 倍,因此非常适合半导体行业、生命科学和健康科学显微镜或众多计量应用领域的任何应用。
请仔细阅读相关数据表,了解我们的多种选择:
气动平衡 Z:AI-(电机)-(行程)00-(力)-Z-CB
高力气动平衡 Z:AI-(电机)-(行程)00-(力)N-Z-CB
ALIO 的直线电机驱动垂直 Z 形升降平台系列具有外形小巧、行程极长的特点。这些平台使用高精度交叉滚子轴承和线性编码器,配备磁性弹簧平衡器或无摩擦空气轴承气缸。与 GeoSymmetric 系列平台类似,这些长行程 Z 平台的平衡装置、电机、轴承和编码器都安装在平台的近似中心线上。有效载荷可直接安装在平台表面。
配备磁性弹簧平衡器的 Z-MCB 型号可在 25 至 170 毫米之间移动,而配备无摩擦空气轴承气缸平衡器的 Z-ABCB 型号可在 200 毫米或更大范围内承载重达 25 公斤的有效载荷。
详细信息:
磁性弹簧平衡 Z,线性驱动;AI-LM-(行程)00-Z-MCB-(最大载荷)
从工业自动化到大型测量或计量工具等广泛的应用领域,都要求在实现纳米级精度的同时具有巨大的提升能力。针对此类应用,ALIO 提供了带有精密滚珠丝杠的垂直 Z 平台,该平台由无框架扭矩电机驱动,配备气动释放弹簧啮合制动器,无需额外的平衡即可提升 20 公斤。对于更高的负载,该系列提供所谓的 "气动增压 "选项,利用无摩擦气动平衡将有效载荷能力提高到 50 千克。
即使在如此高的负载下,这些平台也能在高达 50 毫米的范围内实现 +/- 100 nm 的双向重复性。这使其成为需要高负载和长行程范围而又不影响精度的应用的理想平台。
有关精度、准确度和运动曲线规格的更多信息:
在大多数成像应用中,只有当样品和光学器件之间的距离可调时,才能获得最佳的图像聚焦效果。通常情况下,Z 轴对焦平台可用于此类应用,样品或光学镜组可沿光轴移动。应用、光学器件和样品的具体情况将最终决定所需的移动范围,需要额外聚焦行程的一些例子如下:
- 用于组织样本或培养细胞等较厚或非平面样本
- 对于非焦距物镜,每个物镜都有不同的焦距间距
- 有多种样品类型的地方,如显微镜载玻片或微孔板
- 在装载/卸载操作中需要缩回光学镜组时
其他一些先进的显微镜应用需要采集一系列图像,每幅图像沿 Z 轴以很小的增量分开,创建 3D 样品图像就需要这种先进的聚焦控制。
对于所有这些苛刻的应用,ALIO 的直接驱动聚焦平台技术都能应对挑战:
Z 聚焦台:AI-VC-600-SCB-ATRAK
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