历史与里程碑

2001

ALIO Industries 公司成立之初就致力于纳米级精密运动、质量、新颖和突破传统的设计。

2002

首个压电六轴Hexapod

2003

第一个 ^10-12真空直线运动系统，行程 50 毫米

2004

压电Hexapod的两项美国专利

2009

首个重复精度小于 10 nm的空气轴承升降平台

2010

新颖的解耦空气轴承龙门系统，可关闭和打开中心压盘

2012

纳米 NANO Z 空气轴承升降台专利

2013

世界上第一个Hybrid Hexapod。新颖的设计和无与伦比的 5 轴或 6 轴精度。真正改变游戏规则

2014

花岗岩上新颖的直线度和平面度符合轴承，大大提高了龙门系统的精度

2015

先进的新设施投入使用

2016

业内首个非对称单片 XY 平台

2017

Hybrid Hexapod三项专利中的第一项

2018

用于新型 Fritz 计量平台的新型平面旋转空气轴承平台

2020

Angulares™ Hybrid Hexapod，业界唯一具有 60° tip/tilt 范围的精密 6-DOF 位移台

2021

平面旋转空气轴承平台专利

2021

被 Allient Technologies 收购