利用 ALIO 的 XYNano Metrology® 平台提高测量精度 | 移动范围可达 450mm

当今的计量系统需要快速测量复杂的零件几何形状，例如孔、凹槽、边缘和倒角，并对最复杂的零件进行精确检测。即使是大型零件，二维数据或零件的部分覆盖范围往往已经不能满足要求。对于市场领先的大视场三维计量工具而言，只有当底层运动系统至少同样出色或更出色一个数量级时，最好的传感器和编码器才能达到所需的精度。 

针对此类应用，ALIO 提供了接近气浮性能的交叉滚子轴承 XYNano Metrology® 平台，行程范围可达 450 mm。这些平台使用直流伺服直线电机，具有无与伦比的运动性能，包括 3-Sigma、6-D（线性、直线度、平面度、pitch 、yaw 和roll ）和小于 +/- 250nm 的双向重复性。换句话说，任何 XY 点的体积双向重复性都在 500nm 或更小的范围内。