利用 ALIO 的纳米运动控制解决方案提高计量精度

新的、更好的计量传感器设计要求纳米级平台能将样品或传感器移动几百毫米。当今的测量系统要求完美的平面度和点重复性，从而实现亚微米精度的测量。移动这些传感器的运动系统需要更高的精度--最好比传感器本身的精度高出一个数量级。 

针对此类应用，ALIO 提供垂直 Z 平台和整体 XY 底座。ALIO 设计独特的 Z-stage 提供完全基于线性的垂直解决方案，具有接近气浮的性能，比传统的 Z-wedge 解决方案更精确。在整体式 XY 底座上使用垂直 Z 平台，可将客户的有效载荷直接安装在平台顶部，与电机、编码器、轴承和平衡装置保持一致，从而最大限度地减少悬挂支架，并大大降低潜在的阿贝误差。ALIO 的 XY 单片平台具有前所未见的纳米级精度的直线行程，可降低计量OEM的测量不确定性。