利用 ALIO 的空气轴承平台提高步进光刻机的吞吐量和均匀性

与扫描光刻相比，步进光刻工具成本更低、复杂性更小，却能提供高分辨率功能，从而彻底改变了集成电路 (IC) 的制造工艺。扫描光刻技术具有速度快、图像区域大和扫描平均化等优点，但传统的 1X 步进光刻工具在吞吐量方面受到限制。提升和降低平台速度所需的时间，以及频繁的停止和沉淀，都会导致整体吞吐量降低。

ALIO 认识到控制好投影区域以确保整个晶片上剂量分布均匀的重要性。凭借获得专利的空气轴承平台，ALIO 采用蛇形步进扫描技术，将平滑和连续运动提升到了一个新的水平。这消除了不必要的停顿和时间浪费，大大提高了产量，并实现了晶圆上的精确特征定位。