ALIO bietet monolithische, elektromagnetisch angetriebene X-, Y- und Z-Positioniereinheiten mit niedrigem Profil und offener Apertur für Anwendungen an, die eine hohe Geschwindigkeit, hohen Durchsatz und präzise Bahnfahrten bei geringem Platzbedarf benötigen. Scanzeiten können verkürzt und bessere Pre-Scan Bilder erzeugt werden.
ALIOs monolithische Kreuztische und kompakte Hubtische ermöglichen einen schnellen und flüssigen Scanprozess für kürzere Laufzeiten und niedrigere Kosten pro Lauf in Verbindung mit einer qualitativ hochwertigen und wiederholbaren Bildgebung.
Für diese filigranen, hochflexiblen Montageprozesse bietet ALIO den Angulares™ Hybrid Hexapod® an, welcher über marktführende Rotationsbereiche verfügt und es mit großen XY-Verfahrwegen zulässt Instrumente von Prozessschritt zu Prozessschritt zu verschieben.
ALIO verfügt über einzigartige Mikroskoptisch-Architekturen, bei denen der Schwerpunkt auf optimierten Bewegungen und erstklassiger Bildqualität liegt.
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