ALIOs Präzisionshubtische wurden entwickelt, um gängige Ungenauigkeiten und Probleme von Keilkonzepten zu überwinden, sowie Platzbedarf und Leistung vertikaler Lineartische zu optimieren.
6 mm - 200 mm
0,2 - 1,0 m/sec
<5nm
Bis zu +/- 45nm
~<1.0µm
6 mm - 200 mm
0,2 - 1,0 m/sec
<5nm
Bis zu +/- 45nm
~<1.0µm
ALIOs Präzisionshubtische wurden entwickelt, um die gängigen Ungenauigkeiten und Probleme von Keilkonzepten zu überwinden, sowie Platzbedarf und Leistung vertikaler Lineartische zu optimieren. Eine im Verhältnis zu Keiltischen deutlich geringere Anzahl mechanischer Komponenten reduziert den Gesamtfehler der Z-Positionierer. Eine konsequente Ausrichtung der Komponenten entlang der tatsächlich Bewegungsachse ermöglicht ALIOs Präzisionshubtischen überlegene Positionier- und Wiederholgenauigkeiten.
Die patentierten NANO Z® Luftlagerhubtische nutzen eine neuartige Kombination aus Luftlagerführungen und zwei separaten Voice Coil Motoren. Trotz kompakten Gehäuses können Hübe von bis zu 24 mm erreicht werden.
Luftlager sowie Voice Coil Motoren ermöglichen eine reibungsfreie Bewegung und unvergleichlich präzise und wiederholbare Positionierungen im niedrigen zweistelligen Nanometerbereich. Dank variabel einstellbarer Balanciermechanismen sind auch schwere Lasten, wie Wafer Chucks oder Objekte mit einer ungleichmäßigen Gewichtsverteilung, über den gesamten Verfahrweg nanometergenau positionierbar.
Mit dem Nano Z® ist es möglich die vertikale Kraft in eine Linie mit der Nutzlast zu bringen. Damit kann die Belastung durch Hebelwirkungen schwerer Lasten sowie auch Kippen, Neigen und Gieren der Achse nahezu eliminiert werden.
Abmessungen und Spezifikationen finden Sie im folgenden Datenblatt:
ALIOs GeoSymmetric™ Hubtische verwenden hochpräzise Kreuzrollenführungen und je nach Anwendungsfall Voice Coil Motoren oder lineare Direktantriebe. Verschiedene Gegengewichtsoptionen komplettieren die Vielseitigkeit dieses einzigartigen und innovativen Designkonzepts.
Montageflächen auf mehreren Seiten des Tisches bieten flexible Installationsoptionen. Dies ermöglicht Schwachstellen und Resonanzfrequenzprobleme durch zusätzlichen Halterungen zu vermeiden.
Der Balanciermechanismus, der Motor, die Führungen und die Positionsauslese sind alle symmetrisch auf die geometrische Mitte des Positionierers ausgerichtet. Sie sind also so integriert, dass ihre Massen gleichmäßig über den Tisch verteilt sind.
Durch eine anwendungsspezifische Auswahl des passenden Gegengewichts erlaubt die GeoSymmetric™-Baureihe auch höchste Anforderungen verschiedenster Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikroskopie, Medizintechnik oder Messtechnik zu erfüllen. Bidirektionale Wiederholgenauigkeit von bis zu +/-45nm, Verfahrwegen von 6 bis 70mm und Tragfähigkeiten von bis zu 30kg bedeuten eine 4 bis 10 mal höhere Leistung im Vergleich zu Keiltischen.
Entdecken Sie unsere zahlreichen Möglichkeiten:
Pneumatischer Gewichtsausgleich Z: AI-(MOTOR)-(TRAVEL)00-(FORCE)-Z-CB
Pneumatischer Gewichtsausgleich, Hohe Kraft Z: AI-(MOTOR)-(TRAVEL)00-(FORCE)N-Z-CB
Kompakte Hubtisch mit wechselbarer Feder Z: AI-(MOTOR)-(TRAVEL)00-Z-SCB
Vertikale Positionierer mit Linearantrieb zeichnen sich durch geringe Bauhöhen und sehr lange Verfahrwege aus. Diese Tische verwenden hochpräzise Kreuzrollenführungen und lineare Encoder in Kombination mit magnetischen Konstantkraftfedern oder reibungsfreien Pneumatikzylindern. Ähnlich der GeoSymmetric™-Reihe sind bei diesen vertikalen Positionierern mit langem Verfahrweg Gegengewicht, Motor, Führungen und Encoder ungefähr parallel zur Mittelachse des Tisches platziert. Nutzlasten werden direkt an der Stirnseite des Tisch montiert.
Die Z-MCB-Versionen mit magnetischer Konstantkraftfeder ermöglichen Verfahrwege zwischen 25 und 170 mm, die Z-ABCB mit pneumatischen Zylinder Nutzlasten von bis zu 25 kg über Verfahrwege von 200 mm und mehr.
Details:
Vertikale Positionierer mit sehr langen Verfahrwegen: AI-LM-(TRAVEL)00-(PAYLOAD)-Z-MCB-BASE
Vertikale Positionierer für hohe Lasten und Verfahrwege: AI-LM-(TRAVEL)00-Z-ABCB-(OPTION)
Bestimmte Anwendungen in der Automatisierung von Messtechnik und Metrologie erfordern enormen Hubkapazitäten bei gleichzeitiger Nanometerpräzision. Solche Anwendungen können mit ALIOs vertikalen Hubtischen mit kraftvollen Präzisionskugelgewindeantrieb für bis zu 20kg umgesetzt werden. Die sogenannte "Pneumatic Boost"-Option erhöht die Tragfähigkeit auf bis zu 50kg. Für Absicherung sorgt ein pneumatischer Bremsmechanismus.
Selbst bei derart hohen Lasten erreichen diese Hubtische +/- 100 nm bidirektional Wiederholgenauigkeit über den Verfahrweg von bis zu 50 mm. Dies macht sie zur idealen Lösung für Anwendungen mit hohen Lasten und großen Verfahrwegen, ohne dass auf Präzision verzichtet wird.
Weitere Informationen zu den Spezifikationen:
Hubtische mit pneumatischer Bremse für hohe Lasten: AI-BSD-(TRAVEL)00-Z-PBRK
Bei den meisten Bildgebungsverfahren ist es notwendig, dass für ein optimales Bild der Abstand zwischen der Probe und der Optik einstellbar ist. In der Regel wird für solche Anwendungen eine Autofokussiereinheit verwendet mit der die Optik entlang der optischen Achse bewegt wird. Die Besonderheiten der Anwendung, der Probe und die genutzte Optik definieren den erforderlichen Bewegungsbereich. Beispiele für derartige Anwendungen sind:
- Dicke oder unebene Proben wie Gewebe oder kultivierte Zellen
- Nicht-parfokale Objektive mit einem jeweils anderen Fokusabstand
- Verschiedene Probenaufnahmen in einem Instrument, wie z. B. Objektträger oder Mikrotiterplatten
- Bei Notwendigkeit die Optik während eines Lade-/Entladevorgangs anzuheben
Manche Mikroskopieanwendungen erfordern zudem die Aufnahme einer ganzen Reihe von Bildern in verschiedenen Ebenen, die jeweils durch einen kleinen Schritt entlang der Z-Achse voneinander getrennt sind.
Für all diese anspruchsvollen Anwendungen ist ALIOs Autofokussierpositionierer mit 6mm Hub geeignet:
Positionierer für Autofokussierung: AI-VC-600-SCB-ATRAK
Finden Sie das richtige Produkt für Ihre Anwendung mit unserem intuitiven Produktfinder.
Kontaktieren Sie uns: Hochgenaue Positionierlösungen für Ihre Anwendung
翻译由我们中国区合作伙伴Aunion Tech Co., Ltd（上海昊量光电设备有限公司）家提供！
