ALIO Industries wurde mit dem Schwerpunkt auf nanometergenaue Positionierung, höchster Qualität, neuartigem und unkonventionellem Design gegründet.
Erster piezobasierter Hexapod
Erstes Linearantriebssystem für den Betrieb in Ultrahochvakuum mit einem Verfahrweg von 50mm
Zwei US-Patente für piezobasierte Hexapoden
Erster luftgelagerter Tisch mit weniger als 10 Nanometer Wiederholgenauigkeit
Neuartiges, entkoppeltes und luftgelagertes Portalsystem mit verschiedenen offenen und geschlossenen Trägerplatten
Patent für den NanoZ® Präzisionshubtisch
Erster Hybrid Hexapod® - Ein neuartiges Design für unübertroffene Präzision im Bereich der mehrachsigen Positionierung
Neuartiges, direkt auf Granit gelagertes Portalsystem mit erheblich verbesserter Geradheit und Ebenheit
Eröffnung unseres neuen Headquarters mit modernster Fertigung
Weltweit erster serientauglicher, asymmetrischer, monolithischer Kreuztisch
Erstes von 3 Patenten für den Hybrid Hexapod®
Neuartiger luftgelagerter Rotationstisch für Metrologie-Plattformen
Angulares™ Hybrid Hexapod®- Präzisionsroboter mit 6 Freiheitsgraden und 60° Kippbereich
Patent für planaren Rotationstisch mit Luftlagern
Akquisition durch Allient, Inc.
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翻译由我们中国区合作伙伴Aunion Tech Co., Ltd（上海昊量光电设备有限公司）家提供！
