Glossar

True Nano Positioning® und True Nano®

"Echte" Nanopositionierung bedeutet nachgewiesene Positionier- und Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich. Dies erfordert vollständig dokumentierte und auf das NIST rückführbare Prüfnachweise auf Grundlage anerkannter Standards. Bedenken Sie, dass die bloße Auflösung keinerlei Aussagekraft in der True Nano®-Welt hat.

6-D Nano Precision®

6-D bezieht sich auf die Fehlerquellen der Bewegung: Lineare Genauigkeit, Geradheit, Ebenheit, Kippen, Neigen und Gieren. Nano Precision bezieht sich auf die dokumentierte Positionierleistung besser +/- 450 nm. 6-D Nano Precision® bedeutet daher eine nachweisliche Performance eines Positioniertisches unterhalb eines Mikrometers in allen 6 Freiheitsgraden oder vereinfacht ausgedrückt die nanometergenaue Positionierung im Raum.

Point Precision® oder 6-D Point Precision®

Point Precision® und 6-D Point Precision® definieren beide die bidirektionale Wiederholgenauigkeit einachsiger Bewegungen in allen 6 Freiheitsgrade (linear, Geradheit, Ebenheit, Kippen, Neigen und Gieren) bezogen auf einen beliebigen Punkt im Raum. ALIO wendet diesen vorrangig für einfache Linearpositionierer entwickelten Standard (vgl. ASME B5.64) darüberhinaus auf diemonolithischen Kreuztische an und weist hierfür die nanometergenaue Präzision als kombinierte 6-D Point Precision® aus. Ohne die sechsdimensionale Betrachtung von Positionier- und Wiederholgenauigkeiten sind diese Spezifikationen leider wertlos und irreführend. 

Nano Metrology®

ALIO hat den Begriff der Nano Metrology® in Bezug auf die fortschreitenden Entwicklungen und Designs neuer Messverfahren und Sensoren geprägt. Diese Weiterentwicklungen in der Messtechnik erfordern bessere Positioniertische zur Bewegung der Probe oder des Sensors. ALIO hilft durch verbesserte Geradheit und Ebenheit der Bewegung die kombinierte Messunsicherheit zu reduzieren und das Messen im Nanometerbereich zu garantieren.

Nano Z®

Der patentierte Nano Z^® entstand aus der Arbeit von ALIO mit führenden Maschinenbauern aus der Halbleiterindustrie.Gängige planare XY-Luftlagertische werden um einen luftgelagerten Präzisionshubtischergänzt, welcher verbesserte Verfahren in der Waferinspektion ermöglicht. Das Design und die erreichbaren Genauigkeiten dieses vertikalen Positionierers sind einmalig im Positioniermarkt, sodass ALIO seinen Namen markenrechtlich schützen ließ.

Hybrid Hexapod®

Der Begriff "Hybrid" bezieht sich auf die Kombination zweier Plattformen oder Ansätze, welche die Gesamtleistung einer neuen Produktkategorie verbessert. Ein Hexapod, bzw. eine Stewart-Plattform, ist eine seit vielen Jahren bekannte und eingesetzte sechsachsige Parallelkinematik. Der Hybrid Hexapod® kombiniert die Vorteile von serieller und paralleler Kinematik. Ein dreibeiniger Tisch (Tripod) mit eingebauten 360°-Rotationstisch steht dabei auf einer monolithischen XY-Basis. Einfachere Kalkulationen, eine geringere Anzahl bewegter Komponenten je Bewegung und Richtung, direkte lineare Positionsauslesen und verbesserte Konstruktion der Beine sorgen gegenüber herkömmlichen Hexapoden für um zwei Größenordnungen präzisere Positionierung in 6 Freiheitsgraden.