Die patentierten Luftlagertische von ALIO ermöglichen eine flüssige und kontunierliche Step-and-Scan-Technik, die bei der Vermeidung von Zeitverlusten hilft.
Der patentierte NANO Z® Präzisionshubtische beinhaltet eine neuartige Kombination von Luftlagern und Direktantrieben in einer sehr kompakten Bauform mit bis zu 24 mm Hub.
ALIO bietet lineare und rotative Positioniereinheiten, welche eine einfache Anbringung verschieden großer Wafer Chucks und Vakuumspannplatten ermöglichen. Unabhängig gesteuerte Tische ermöglichen mehr Flexibilität für verschiedene elektronische Prüfverfahren und reduzieren den Handhabungsaufwand und die Testzeiten erheblich.
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