Verbesserung von Durchsatz und Qualität in der Stepper-Lithographie mit ALIOs luftgelagerten Tischen

Stepper-Lithographiesysteme haben die Herstellung integrierter Schaltkreise (IC) revolutioniert, da sie hochauflösende Funktionen bei geringeren Kosten und geringerer Komplexität im Vergleich zur Scan-Lithographie bieten. Während die Scanning-Lithografie Vorteile wie höhere Geschwindigkeit, größere Bildfelder und Scan-Mittelwertbildung bietet, stoßen herkömmliche 1X-Stepper-Lithografieanlagen in Bezug auf den Durchsatz an ihre Grenzen. Die Zeit, die bei Beschleunigung und Abbremsen des Positioniersystems benötigt wird, sowie häufige Stopps und Einschwingphasen führen zu einem geringeren Gesamtdurchsatz.

ALIO weiß wie wichtig ein gut kontrollierter Projektionsbereich ist, um eine gleichmäßige Dosisverteilung auf dem Wafer zu gewährleisten. Mit seinen patentierten luftgelagerten Tischen erreicht ALIO eine ausgezeichnete flüssige und kontinuierlichen Bewegung für Step-and-Scan-Fahrten. Unnötige Stopps und Zeitverluste werden vermieden, was den Durchsatz erheblich verbessert und Ausschuss verringert.