Nano Metrologie und Sensorkalibrierung

Verbessern Sie die Positioniergenauigkeit in Ihrer Metrologieanwendung mit ALIOs nanometergenauen Positioniersystemen

Neue und bessere Designs von Messsensoren haben die Nachfrage nach nanometertauglichen Positioniersystemen geschaffen, die eine Probe oder einen Sensor über mehrere hundert Millimeter bewegen können. Perfekte Geradheit, Ebenheit und Wiederholgenauigkeit werden verlangt, um Messungen mit Genauigkeiten im Submikrometerbereich zu ermöglichen. Die Positioniersysteme, die Probe oder Sensoren bewegen, benötigen eine enorme Präzision und sind im Idealfall mindestens eine Größenordnung besser als der Sensor selbst. 

Für derartige Anwendungen bietet ALIO seine Präzisionshubtische und monolithischen Kreuztische an. ALIOs einzigartige Präzisionshubtische sind eine vollständig lineare vertikale Lösung, welche um Größenordnungen präziser ist als herkömmliche Z-Keil-Lösungen. Bei Verwendung eines derartigen vertikalen Positionierers kann die Nutzlast des Kunden direkt auf der Oberseite des Tisches symmetrisch zu dem Motor, dem Encoder, den Führungen und dem Gegengewicht montiert werden. Dies verringert potenzielle Fehler durch überhängende Halterungen merklich. Monolithische Kreuztische von ALIO ermöglichen zudem über den gesamten Verfahrweg eine Präzision im Nanometerbereich und erlauben es OEMs die eigenen Gerätespezifikationen zu verbessern.

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